中心简介

微纳真空电子器件研究中心，依托北京大学信息科学技术学院物理电子学研究所和纳米器件物理与化学教育部重点实验室，致力于研发实用新型芯片式电子源和X射线源，像LED带来电光源技术的变革一样，用芯片式电子源带来电子源技术的变革性改变。

人员组成

中心目前有北京大学3位教师,4位在读博士生，2位专职研发人员，人员简介如下：

魏贤龙，中心主任，北京大学信息科学技术学院研究员。主要研究领域是芯片式电子源及芯片式电真空器件。

郭等柱，北京大学信息科学技术学院副研究员。主要研究领域是微型质谱仪及微电子器件的真空封装。

张耿民，北京大学信息科学技术学院教授。主要研究领域是纳米材料的场发射。

王雨薇、杨威、李志伟以及詹芳媛，北京大学信息科学技术学院在读博士，主要研究领域是芯片式电子源及其应用。

刘文超，研发工程师，主要研究领域是X射线源的真空封装及相关专利申请。

赵振征，研发工程师，主要研究领域是芯片式电子源的制备及X射线源的高压测试。

实验平台

目前，中心具有良好的实验平台，像微纳加工超净间、环境扫描电镜、4200探针台、场发射真空系统、阳极键合机、氦质谱检漏仪等等，同时也与一些商家合作，具有较完善的芯片式电子源和X射线源制备平台。

科研成果

1. 石墨烯片上微型热电子源及阵列

世上首个片上微型热发射电子源，实现了热发射电子源的微型化、片上化和阵列化，具有开启电压低，开关响应时间快，发射性能可控性好等优点。相关工作于第29届国际真空纳米电子学大会获得了the SGS Award。

2. 碳纳米管片上微型热电子源及阵列

工作电压低，真空要求低，集成性好，而且可通过阳极键合等方式，实现MEMS封装。

3. 氧化硅片上微型电子源及阵列

首次提出阻变材料内场发射机制，发射效率高，结构简单且加工容易。

4.  部分相关论文和专利

[1] G.T. Wu, X. L. Wei*, S. Gao, Q. Chen, L. M. Peng. Tunable graphene micro-emitters with fast temporal response and controllable electron emission[J]. Nature Communications, 2016, 7, 11513.

[2] Wu Gongtao, Li Zhiwei, Tang Zhiqiang,等. Silicon Oxide Electron-Emitting Nanodiodes[J]. Advanced Electronic Materials:1800136-.

[3] Wang Y, Xiang L, Yang W, Li Z, Fang Z, Zhou D, Liu P, Wei X. High-Performance On-Chip Thermionic Electron Micro-Emitter Arrays Based on Super-Aligned Carbon Nanotube Films[J]. Advanced Functional Materials:1907814-.

[4] 魏贤龙.一种片上微型X射线源:中国,201821855698.5[P].2019,05,31.

[5] 魏贤龙,杨威.一种片上微型电子源:中国,201821854867.3[P].2019,07,02.

[6] 魏贤龙,吴功涛,陈清.一种电子发射体功函数可调的阴极及其阵列:中国,201510250562.6[P].2015,10,21.